consiste à exciter les atomes des éléments à identifier et à doser pour que, retournant à leur état stable, ils dégagent un rayonnement caractéristique
la micro-fluorescence des rayons X utilise comme source dexcitation un faisceau délectrons qui excite les électrons de la matière à analyser de telle façon à ce que ces derniers, revenant à leur état stable, émettent des rayons X secondaires caractéristiques des éléments en présence. Cette technique nest pas à proprement parler une spectrométrie car la source nest pas dorigine électro-magnétique
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la micro-fluorescence des rayons X nest pas dapplication lorsquil sagit didentifier des matières organiques ; on utilise alors la spectrométrie de masse, la spectroscopie des UV visibles ou la spectrométrie des IR
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Autres techniques d'analyse de la composition de la matière : ultramicroanalyse